
COSMOS 新宇宙半導體材料氣體檢測儀 XPS-7II 的操作使用方法如下:
開機與準備
氣體檢測
選擇傳感器:儀器采用模塊化傳感器設計,通過更換專用盒式傳感器單元,可檢測氯氣、氯化氫、氨氣、硅烷等多種半導體工藝常用毒性氣體及特殊材料氣體。將所需的傳感器單元正確插入儀器中。
放置儀器:將儀器放置在需要檢測的環(huán)境中,儀器會自動以 350±100ml/min 的流量抽取氣體進行檢測。儀器應答速度快,60 秒內(nèi)即可達到 60% 響應。
讀取數(shù)據(jù):檢測結果通過 LED 數(shù)字顯示,可顯示測定值、表示狀態(tài)、電量、數(shù)據(jù)存儲狀態(tài)等信息。指示精度達滿量程 ±10% 以內(nèi),顯示分辨率根據(jù)氣體種類可達滿量程的 1/100 或 1/200。
報警設置與響應
數(shù)據(jù)記錄與傳輸
關機與維護